集光学显微镜、电子显微镜、粗糙度仪、干涉仪功能于一身

50 mm1 nm的高精度测量

VK-X系列是什么?

VK-X系列是一款兼具高观察力和测量力的共焦点激光显微系统。观察倍率超越传统光学显微镜、在空气中可实现接近SEM的高分辨率图像、测量力凌驾于粗糙度仪之上,以上特点凝聚在这1台设备之中。由于其优秀的使用体验及纳米级的测量能力,在2015年度的纳米技术评选中获奖,是一款更佳的测量仪器。

01与光学显微镜的差异

最高28800倍的高分辨率
光学显微镜有限的分辨率和倍率
VK-X系列最高28800倍的高分辨率
盘片坑(6000倍)

可在远超光学显微镜的倍率下观察。此外,由于激光显微镜的特性,高倍率观察时焦点也不会模糊,视野更加清晰。

02与SEM(电子显微镜)的差异

16bit激光 彩色观察
SEM(电子显微镜)采用黑白图像,因此无法判断颜色
VK-X系列实现全彩、高倍率、高分辨率观察
墨粉(1000倍)

可在空气中观察,无需进行真空处理、蒸镀等预处理步骤。还可以处理光学信息,在高分辨率的同时实现全彩观察。

03与粗糙度仪的差异

激光的光点直径 < 粗糙度仪的直径
粗糙度仪分辨率受限于触针尖端直径
接触式表面 粗糙度仪 / 半径:2 μm / 无法测量小于粗糙度仪触针尖端直径的细小形状。
VK-X系列激光的光点直径 < 粗糙度仪的直径
激光显微镜 / 半径:0.2 μm / 激光光点直径比粗糙度仪触针尖端小很多,因此能够更精确地测量细微形状。

测量光点直径仅为粗糙度仪触针的1/10。完全可以胜任亚微米级的测量工作。此外,还能进行区域整体扫描,从而实现支持ISO 25178的粗糙度测量。

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VK-X 系列 形状测量激光显微系统 产品目录

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