全自动形状分析
新原理
激光显微系统 全新形状测量激光显微系统
VK-X 系列

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以往的粗糙度仪……

接触式的极限

  • 可能损伤样品
  • 无法顺利对准需要测量的部位
  • 触针尖端直径为分辨率的极限

以往的干涉仪……

原理的极限

  • 无法测量陡峭的形状
  • 必须水平放置目标物
  • 无法进行彩色观察

SEM 的难题……

原理有限

  • 必须抽真空
  • 必须进行蒸镀等预处理
  • 无法进行彩色观察

难以熟练使用！

全自动测量

如果使用形状测量激光显微系统VK-X系列，任何人都能轻松实现高精度测量

  • 新原理
    RPDII / AI 扫描
  • 仅需放置后单击即可
  • 无需调整为水平。无需专业技术

以激光非接触、
高精度测量“粗糙度”

  • 不损伤目标物
  • 能够正确测量任意目标位置
  • 陡峭形状也可准确测量
  • 从 50 mm 到 1 nm 的 高精度测量

高精细彩色观察

  • 匹敌SEM的高分辨率
  • 可实现最大28800倍的彩色观察

详情请参阅产品目录

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