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        形状测量激光显微系统VK-X 系列

        VK-S110

        电动X-Y台

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        型号

        VK-S110

        移动方向

        X/Y轴

        冲程

        100×100 mm

        工作台尺寸

        140×140 mm

        指南方法

        交叉滚轮导轨

        进给方法

        精密滚珠丝杠、引线1 mm

        轴转换惯性

        X轴 9.29×10-7kg・m2、 Y轴 9.62×10-7kg・m2

        马达

        0.35A/相、5相步进马达5线五边形接线、保持扭矩:0.017N・m、旋转惯性:4.2g・cm2

        分辨率

        1 µm

        定位精度

        10 µm

        重复定位精度

        ±1 µm

        反弹

        1 µm

        空转

        3 µm

        直观性 (垂直/水平)

        15 µm

        平行性A

        X:20 µm、Y:20 µm

        XY直角度

        15 µm

        耐加重

        3 kg

        主材料/概观

        铝合金、黑色阳极处理

        重量

        3.7 kg

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