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          形状测量激光显微系统VK-X 系列

          测量头 (红色半导体激光)

          VK-X1050

          规格

          选择语言

          型号

          VK-X1050

          类型

          测量头

          综合倍率

          28,800 倍以下*1

          视野 (最小视野范围)

          11 µm 至 7,398 µm

          帧率 (激光测量速度)

          4 至 125 Hz、7,900 Hz*2

          测量原理

          光学系统

          针孔共聚焦光学系统、变焦

          光接收元件

          16 bit 感应光电倍增器、超高精细彩色CMOS

          扫描方式
          (常规测量时及图像拼接时)

          自动上下限设定功能、高速光量最佳化功能 (AAGII)、反射光量不足补充功能 (双扫描)

          高度测量

          显示分辨率

          5 nm

          线性标尺

          动态量程
          (来自工件的光接收量的适用幅度)

          16 bit

          重复精度σ

          激光共聚焦

          20 倍 : 40 nm、50 倍 : 20 nm

          变焦

          5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 30 nm

          高度数据获取范围

          70 万步骤

          准确性

          0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度 µm)*3

          宽度测量

          显示分辨率

          10 nm

          重复精度 3σ

          激光共聚焦

          20 倍 : 100 nm、50 倍 : 50 nm

          变焦

          5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 65 nm

          准确性

          测量值±2 % 以内*3

          XY 载物台结构

          手动 运行范围

          70 mm x 70 mm

          电动 运行范围

          100 mm x 100 mm

          观察

          观察图像

          超高精细彩色CMOS 图像、16 bit 激光彩色共焦点图像、共焦点 + ND 滤波器光学系统、C - 激光微分干涉图像

          照明

          环状照明、同轴落射照明

          测量用激光光源

          波长

          红色半导体激光 661 nm

          最大输出

          1 mW

          激光产品

          2 类激光产品 (GB7247.1)

          电源

          电源电压

          100 至 240 VAC、50/60 Hz

          消耗电流

          150 VA

          重量

          约 13.0 kg

          *1 23 寸显示器画面上的倍率 (全屏显示器时)。
          *2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。
          *3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (标准刻度) 时。

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