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          形状测量激光显微系统VK-X 系列

          形状测量激光显微镜

          VK-X110

          [停产型号]

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          型号

          VK-X110

          类型

          测量模块

          物镜放大倍率

          15" 显示器的放大倍率 200 倍

          10 倍

          15" 显示器的放大倍率 400 倍

          20 倍

          15" 显示器的放大倍率 1000 倍

          50 倍

          15" 显示器的放大倍率 2000 倍

          100 倍

          观察/测量范围

          水平 (H)﹕ μm

          15" 显示器的放大倍率 200 倍

          1350

          15" 显示器的放大倍率 400 倍

          675

          15" 显示器的放大倍率 1000 倍

          270

          15" 显示器的放大倍率 2000 倍

          135

          垂直 (V)﹕ μm

          15" 显示器的放大倍率 200 倍

          1012

          15" 显示器的放大倍率 400 倍

          506

          15" 显示器的放大倍率 1000 倍

          202

          15" 显示器的放大倍率 2000 倍

          101

          操作距离 mm

          15" 显示器的放大倍率 200 倍

          16.5

          15" 显示器的放大倍率 400 倍

          3.1

          15" 显示器的放大倍率 1000 倍

          0.54

          15" 显示器的放大倍率 2000 倍

          0.3

          数值孔径 (N.A.)

          15" 显示器的放大倍率 200 倍

          15" 显示器的放大倍率 400 倍

          0.46

          15" 显示器的放大倍率 1000 倍

          0.8

          15" 显示器的放大倍率 2000 倍

          0.95

          光学变焦

          1 至 8 倍

          综合倍率

          200 至 16000 倍

          观察/测量光学系统

          针孔共聚焦光学系统

          高度测量

          测量范围

          7 mm

          显示分辨率

          0.005 µm

          重复精度σ

          0.02 µm*1

          宽度测量

          显示分辨率

          0.01 µm

          重复精度3σ

          0.03 µm*2

          帧存储

          像素数

          2048 x 1536, 1024 x 768, 1024 x 64

          对于单色图像

          16 位

          对于彩色图像

          每个 RGB 8 位

          对于高度测量

          21 位

          帧频率

          面扫描

          4 至 120 Hz

          线扫描

          7900 Hz

          自动功能

          AAG (自动增益)、自动对焦、自动设置上下限, 双扫描的亮度设置

          测量用激光光源

          波长

          红色半导体激光, 658 nm

          最大输出

          0.95 mW

          激光产品

          II 类激光产品 (IEC60825-1,FDA (CDRH) Part1040.10 *3)

          光接收元件

          PMT (光电倍增管)

          用于光学观察的光源

          灯泡

          100 W 卤素灯

          用于光学观察的
          彩色摄像机

          拍摄元件

          1/3 英寸彩色 CCD 图像传感器

          拍摄分辨率

          超高精细 (3072 x 2304)

          自动调整

          增益、快门速度

          数据处理模块

          KEYENCE 指定专用个人电脑, (操作系统﹕ Windows 7 Professional Edition) *4

          软件部

          自动变焦软件

          在观察时自动对焦的软件

          像素平移软件

          在拍摄图像之际,错开像素进行拍摄后,提高拍摄像素的软件

          HDR功能软件

          以16bit获取数据后,使图像显示最佳化的软件

          RPD功能软件

          快速、正确检测测量结果的算法

          AAG功能软件

          自动调整设定范围内激光受光灵敏度的软件

          自动上下限设定软件

          自动识别对象物的上限与下限后,设定测量范围的软件

          简单模式功能软件

          可以流程图方式简单进行测量的软件

          注释功能软件

          在观察画面上显示注释的软件

          计测/标尺显示软件

          在尺寸测量或观察画面上显示标尺的软件

          额定

          电源电压

          100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz

          功率消耗

          最大 450 VA

          重量

          约 25 kg (分离时探头单体:约 8.5 kg)

          *1 使用 50 倍镜头测量 2 µm 的标准高度差时。
          *2 使用 100 倍物镜在线性峰值模式测量 KEYENCE 1 µm 的参照图标线宽时 (图像均值:8 倍)。
          *3 FDA (CDRH) 的激光分类是基于IEC60825-1 并根据Laser Notice No.50 的要求而实施的。
          *4 Windows 7 是美国微软公司的注册商

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