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        形状测量激光显微系统VK-X 系列

        VK-X110

        形状测量激光显微镜

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        型号

        VK-X110

        类型

        测量模块

        物镜放大倍率

        15" 显示器的放大倍率 200 倍

        10 倍

        15" 显示器的放大倍率 400 倍

        20 倍

        15" 显示器的放大倍率 1000 倍

        50 倍

        15" 显示器的放大倍率 2000 倍

        100 倍

        观察/测量范围

        水平 (H)﹕ μm

        15" 显示器的放大倍率 200 倍

        1350

        15" 显示器的放大倍率 400 倍

        675

        15" 显示器的放大倍率 1000 倍

        270

        15" 显示器的放大倍率 2000 倍

        135

        垂直 (V)﹕ μm

        15" 显示器的放大倍率 200 倍

        1012

        15" 显示器的放大倍率 400 倍

        506

        15" 显示器的放大倍率 1000 倍

        202

        15" 显示器的放大倍率 2000 倍

        101

        操作距离 mm

        15" 显示器的放大倍率 200 倍

        16.5

        15" 显示器的放大倍率 400 倍

        3.1

        15" 显示器的放大倍率 1000 倍

        0.54

        15" 显示器的放大倍率 2000 倍

        0.3

        数值孔径 (N.A.)

        15" 显示器的放大倍率 200 倍

        15" 显示器的放大倍率 400 倍

        0.46

        15" 显示器的放大倍率 1000 倍

        0.8

        15" 显示器的放大倍率 2000 倍

        0.95

        光学变焦

        1 至 8 倍

        综合倍率

        200 至 16000 倍

        观察/测量光学系统

        针孔共聚焦光学系统

        高度测量

        测量范围

        7 mm

        显示分辨率

        0.005 µm

        重复精度σ

        0.02 µm*1

        宽度测量

        显示分辨率

        0.01 µm

        重复精度3σ

        0.03 µm*2

        帧存储

        像素数

        2048 x 1536, 1024 x 768, 1024 x 64

        对于单色图像

        16 位

        对于彩色图像

        每个 RGB 8 位

        对于高度测量

        21 位

        帧频率

        面扫描

        4 至 120 Hz

        线扫描

        7900 Hz

        自动功能

        AAG (自动增益)、自动对焦、自动设置上下限, 双扫描的亮度设置

        测量用激光光源

        波长

        红色半导体激光, 658 nm

        最大输出

        0.95 mW

        激光产品

        II 类激光产品 (IEC60825-1,FDA (CDRH) Part1040.10 *3)

        光接收元件

        PMT (光电倍增管)

        用于光学观察的光源

        灯泡

        100 W 卤素灯

        用于光学观察的
        彩色摄像机

        拍摄元件

        1/3 英寸彩色 CCD 图像传感器

        拍摄分辨率

        超高精细 (3072 x 2304)

        自动调整

        增益、快门速度

        数据处理模块

        KEYENCE 指定专用个人电脑, (操作系统﹕ Windows 7 Professional Edition) *4

        软件部

        自动变焦软件

        在观察时自动对焦的软件

        像素平移软件

        在拍摄图像之际,错开像素进行拍摄后,提高拍摄像素的软件

        HDR功能软件

        以16bit获取数据后,使图像显示最佳化的软件

        RPD功能软件

        快速、正确检测测量结果的算法

        AAG功能软件

        自动调整设定范围内激光受光灵敏度的软件

        自动上下限设定软件

        自动识别对象物的上限与下限后,设定测量范围的软件

        简单模式功能软件

        可以流程图方式简单进行测量的软件

        注释功能软件

        在观察画面上显示注释的软件

        计测/标尺显示软件

        在尺寸测量或观察画面上显示标尺的软件

        额定

        电源电压

        100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz

        功率消耗

        最大 450 VA

        重量

        约 25 kg (分离时探头单体:约 8.5 kg)

        *1 使用 50 倍镜头测量 2 µm 的标准高度差时。
        *2 使用 100 倍物镜在线性峰值模式测量 KEYENCE 1 µm 的参照图标线宽时 (图像均值:8 倍)。
        *3 FDA (CDRH) 的激光分类是基于IEC60825-1 并根据Laser Notice No.50 的要求而实施的。
        *4 Windows 7 是美国微软公司的注册商

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