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        形状测量激光显微系统VK-X 系列

        VK-X1100

        测量头 (紫色半导体激光)

        规格

        选择语言

        型号

        VK-X1100

        类型

        测量头

        综合倍率

        28,800 倍以下*1

        视野 (最小视野范围)

        11 µm 至 7,398 µm

        帧率 (激光测量速度)

        4 至 125 Hz、7,900 Hz*2

        测量原理

        光学系统

        针孔共聚焦光学系统、变焦

        光接收元件

        16 bit 感应光电倍增器、超高精细彩色CMOS

        扫描方式
        (常规测量时及图像拼接时)

        自动上下限设定功能、高速光量最佳化功能 (AAGII)、反射光量不足补充功能 (双扫描)

        高度测量

        显示分辨率

        0.5 nm

        线性标尺

        动态量程
        (来自工件的光接收量的适用幅度)

        16 bit

        重复精度σ

        激光共聚焦

        20 倍 : 40 nm、50 倍 : 12 nm

        变焦

        5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 20 nm

        高度数据获取范围

        70 万步骤

        准确性

        0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度 µm)*3

        宽度测量

        显示分辨率

        1 nm

        重复精度 3σ

        激光共聚焦

        20 倍 : 100 nm、50 倍 : 40 nm

        变焦

        5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 50 nm

        准确性

        测量值±2 % 以内*3

        XY 载物台结构

        手动 运行范围

        70 mm x 70 mm

        电动 运行范围

        100 mm x 100 mm

        观察

        观察图像

        超高精细彩色CMOS 图像、16 bit 激光彩色共焦点图像、共焦点 + ND 滤波器光学系统、C - 激光微分干涉图像

        照明

        环状照明、同轴落射照明

        测量用激光光源

        波长

        紫色半导体激光 404 nm

        最大输出

        1 mW

        激光产品

        2 类激光产品 (GB7247.1)

        电源

        电源电压

        100 至 240 VAC、50/60 Hz

        消耗电流

        150 VA

        重量

        约 13.0 kg

        *1 23 寸显示器画面上的倍率 (全屏显示器时)。
        *2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。
        *3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (标准刻度) 时。

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