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          形状测量激光显微系统VK-X 系列

          测量部

          VK-X130K

          [停产型号]

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          型号

          VK-X130K

          综合倍率

          19200 倍以下*1

          视野 (最小观察范围)

          16 µm 至 5400 µm

          帧频率

          激光测量速度

          4 至120 Hz、7,900 Hz*2

          测量原理

          光学系统

          针孔共聚焦光学系统

          光接收元件

          光电倍增器、16 bit 感应

          扫描方式 (常规测量时及图像连接时)

          自动上下限设置功能 高速光量最佳化功能(AAG Ⅱ)反射光量不足补充功能(双扫描)

          高度测量

          显示分辨率

          5 nm

          线性标尺

          动态量程 (来自工件的光接收量的适用幅度)

          16 bit

          重复精度σ

          20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3

          Z轴测量用内存

          140 万步骤

          准确性

          0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4

          Z 载物台结构

          结构

          测量头分离结构

          最大样品高度

          28 mm, 128 mm (可选件)

          宽度测量

          显示分辨率

          10 nm

          重复精度3σ

          20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3

          准确性

          ±2%*5

          XY 载物台结构

          手动 运行范围

          70 mm×70 mm

          电动 运行范围

          50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6

          观察

          观察图像

          超高精细彩色CCD 图像
          16 bit 激光彩色共焦点图像
          共焦点+ ND 滤波器光学系统
          C- 激光微分干涉图像

          最大拍摄分析率

          3072×2304

          测量用激光光源

          波长

          红色半导体激光 658 nm

          最大输出

          0.95 mW

          激光产品

          2 类激光产品 (GB7247.1)

          重量

          测量部

          约25 kg(分离时测量头单体: 约8.5 kg)

          控制器部

          约 11 kg

          *1 23 英寸显示器记载。
          *2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。
          *3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。
          *4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。
          *5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。
          *6 安装电动载物台时。

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