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        形状测量激光显微系统VK-X 系列

        VK-X200K

        形状测量激光显微镜

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        型号

        VK-X200K

        类型

        控制器

        物镜放大倍率

        15" 显示器的放大倍率 100 倍

        15" 显示器的放大倍率 200 倍

        15" 显示器的放大倍率 400 倍

        15" 显示器的放大倍率 1000 倍

        15" 显示器的放大倍率 2000 倍

        15" 显示器的放大倍率 3000 倍

        观察/测量范围

        水平 (H)﹕ μm

        15" 显示器的放大倍率 100 倍

        15" 显示器的放大倍率 200 倍

        15" 显示器的放大倍率 400 倍

        15" 显示器的放大倍率 1000 倍

        15" 显示器的放大倍率 2000 倍

        15" 显示器的放大倍率 3000 倍

        垂直 (V)﹕ μm

        15" 显示器的放大倍率 100 倍

        15" 显示器的放大倍率 200 倍

        15" 显示器的放大倍率 400 倍

        15" 显示器的放大倍率 1000 倍

        15" 显示器的放大倍率 2000 倍

        15" 显示器的放大倍率 3000 倍

        操作距离 mm

        15" 显示器的放大倍率 100 倍

        15" 显示器的放大倍率 200 倍

        15" 显示器的放大倍率 400 倍

        15" 显示器的放大倍率 1000 倍

        15" 显示器的放大倍率 2000 倍

        15" 显示器的放大倍率 3000 倍

        数值孔径 (N.A.)

        15" 显示器的放大倍率 100 倍

        15" 显示器的放大倍率 200 倍

        15" 显示器的放大倍率 400 倍

        15" 显示器的放大倍率 1000 倍

        15" 显示器的放大倍率 2000 倍

        15" 显示器的放大倍率 3000 倍

        光学变焦

        1 至 8 倍

        综合倍率

        200 至 24000 倍

        观察/测量光学系统

        针孔共聚焦光学系统

        高度测量

        测量范围

        7 mm

        显示分辨率

        0.0005 µm

        重复精度σ

        0.012 µm*1

        宽度测量

        显示分辨率

        0.001 µm

        重复精度3σ

        0.02 µm*2

        帧存储

        像素数

        2048 x 1536, 1024 x 768, 1024 x 64

        对于单色图像

        16 位

        对于彩色图像

        每个 RGB 8 位

        对于高度测量

        24 位

        帧频率

        面扫描

        4 至 120 Hz

        线扫描

        7900 Hz

        自动功能

        AAG (自动增益)、自动对焦、自动设置上下限, 双扫描的亮度设置

        测量用激光光源

        波长

        紫激光, 408 nm

        最大输出

        0.95 mW

        激光产品

        II 类激光产品 (IEC60825-1,FDA (CDRH) Part1040.10 *3)

        光接收元件

        PMT (光电倍增管)

        用于光学观察的光源

        灯泡

        100 W 卤素灯

        用于光学观察的
        彩色摄像机

        拍摄元件

        1/3 英寸彩色 CCD 图像传感器

        拍摄分辨率

        超高精细 (3072 x 2304)

        自动调整

        增益、快门速度

        数据处理模块

        KEYENCE 指定专用个人电脑, (操作系统﹕ Windows 7 Professional Edition) *4

        额定

        电源电压

        100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz

        功率消耗

        最大 450 VA

        重量

        约 11 kg

        *1 使用 50 倍镜头测量 2 µm 的标准高度差时。
        *2 使用 150 倍物镜在线性峰值模式测量 KEYENCE 1 µm 的参照图标线宽时 (图像均值:8 倍)。
        *3 FDA (CDRH) 的激光分类是基于IEC60825-1 并根据Laser Notice No.50 的要求而实施的。
        *4 Windows 7 是美国微软公司的注册商

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