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        形状测量激光显微系统VK-X 系列

        VK-X250K

        控制器

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        型号

        VK-X250K

        综合倍率

        28000 倍以下*1

        视野 (最小观察范围)

        11 µm 至 5400 µm

        帧频率

        激光测量速度

        4 至120 Hz、7,900 Hz*2

        测量原理

        光学系统

        针孔共聚焦光学系统

        光接收元件

        光电倍增器、16 bit 感应

        扫描方式 (常规测量时及图像连接时)

        自动上下限设置功能 高速光量最佳化功能(AAG Ⅱ)反射光量不足补充功能(双扫描)

        高度测量

        显示分辨率

        0.5 nm

        线性标尺

        动态量程 (来自工件的光接收量的适用幅度)

        16 bit

        重复精度σ

        20 倍 40 nm、50 倍 12 nm、150 倍 12 nm*3

        Z轴测量用内存

        1400 万步骤

        准确性

        0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4

        Z 载物台结构

        结构

        测量头分离结构

        最大样品高度

        28 mm, 128 mm (可选件)

        宽度测量

        显示分辨率

        1 nm

        重复精度3σ

        20 倍 100 nm、50 倍 40 nm、150 倍 20 nm*3

        准确性

        ±2%*5

        XY 载物台结构

        手动 运行范围

        70 mm×70 mm

        电动 运行范围

        50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6

        观察

        观察图像

        超高精细彩色CCD 图像
        16 bit 激光彩色共焦点图像
        共焦点+ ND 滤波器光学系统
        C- 激光微分干涉图像

        最大拍摄分析率

        3072×2304

        测量用激光光源

        波长

        紫激光 408 nm

        最大输出

        0.95 mW

        激光产品

        2 类激光产品 (GB7247.1)

        重量

        测量部

        约26 kg(分离时测量头单体: 约10 kg)

        控制器部

        约 11 kg

        *1 23 英寸显示器记载。
        *2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。
        *3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。
        *4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。
        *5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。
        *6 安装电动载物台时。

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