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          3D轮廓测量仪VR 系列

          VR-3200

          3D轮廓测量仪 喷墨头

          规格

          选择语言

          型号

          VR-3200

          类型

          工作头

          适用控制器

          VR-3000K

          观察测量范围

          大视野模式

          15 英寸显示器上的倍率 12x

          横(H)

          24mm

          纵(V)

          18mm

          15 英寸显示器上的倍率 25x

          横(H)

          12mm

          纵(V)

          9mm

          15 英寸显示器上的倍率 38x

          横(H)

          8mm

          纵(V)

          6mm

          15 英寸显示器上的倍率 50x

          横(H)

          纵(V)

          4.5mm

          高倍率模式

          15 英寸显示器上的倍率 40x

          横(H)

          7.6mm

          纵(V)

          5.7mm

          15 英寸显示器上的倍率 80x

          横(H)

          3.8mm

          纵(V)

          2.9mm

          15 英寸显示器上的倍率 120x

          横(H)

          2.5mm

          纵(V)

          1.9mm

          15 英寸显示器上的倍率 160x

          横(H)

          纵(V)

          1.4mm

          变焦

          1 至 4 倍

          可测量高度

          大视野模式:10mm(±5mm) 高倍率模式:1mm(±0.5mm)*1

          显示分辨率

          0.1 µm*2

          重复精度(б)

          高度测量

          0.5µm*3

          宽度测量

          大视野模式:1 µm、高倍率模式:0.5 µm*3

          测量精度

          高度测量

          ±3 µm*3

          宽度测量

          大视野模式:±5 µm、高倍率模式:±2 µm*3

          连接功能

          全自动(XY 自动控制+ 自动对焦)测量*4
          自动调整、自动模板解析*4

          载物台

          XY 行程

          184 × 88 mm(电动)

          Z 行程

          90 mm(电动)

          旋转构造

          ±180°(试料旋转载物台)

          倾斜构造

          ±30° 以上

          操作距离

          75 mm

          图像接收元件

          1 英寸 400 万像素单色 C-MOS

          投光镜头

          双远心镜头 x2

          受光镜头

          双远心镜头

          照明系统

          观察用光源

          LED 环形照明(红、绿、蓝)

          测量用光源

          白色 LED

          图像尺寸

          1024 x 768 pix, 2048 x 1536 pix

          数据处理部

          基恩士指定专用 PC(OS 为 Windows7)*5

          额定

          电源电压

          100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz

          功率消耗

          150 VA

          环境抗耐性

          环境温度

          +15 至 +30 °C

          相对湿度

          35 至 80 % RH (无凝结)

          重量

          28.0 kg

          *1 以焦点位置为中心低倍侧 ±5 mm、高倍侧 ±0.5 mm 的范围
          *2 高度测量的分辨率
          *3 使用基恩士规定的基准规,以基恩士规定的测量模式进行测量时的数值(环境温度 23±1°C)
          *4 需要拼接软件(VR-H2J)
          *5 Windows7 Professional 及 Ultimate。

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