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        3D轮廓测量仪VR 系列

        VR-5100

        3D 轮廓测量仪 工作头

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        型号

        VR-5100

        类型

        工作头

        控制器

        VR-5000

        观察视野

        低倍 (大视野)

        15 英寸显示器上的倍率 12×

        24.0 mm

        18.0 mm

        15 英寸显示器上的倍率 25×

        12.0 mm

        9.0 mm

        15 英寸显示器上的倍率 38×

        8.0 mm

        6.0 mm

        15 英寸显示器上的倍率 50×

        4.5 mm

        高倍 (高分辨率)

        15 英寸显示器上的倍率 40×

        7.6 mm

        5.7 mm

        15 英寸显示器上的倍率 80×

        3.8 mm

        2.9 mm

        15 英寸显示器上的倍率 120×

        2.5 mm

        1.9 mm

        15 英寸显示器上的倍率 160×

        1.4 mm

        变焦

        1 至 4 倍

        高度测量

        显示分辨率

        0.1 µm

        高度测量范围

        无Z 连接

        低倍 (大视野) : 10 mm
        高倍 (高分辨率) : 1 mm

        有Z 连接

        低倍 (大视野) : 50 mm
        高倍 (高分辨率) : 30 mm

        重复精度σ

        无Z 连接

        0.4 µm*1

        有Z 连接

        1.0 µm*1

        宽度测量

        重复精度σ

        低倍 (大视野) : 1 µm
        高倍 (高分辨率) : 0.5 µm
        *1

        图像拼接功能

        手动测量 (XY手动移动 + Z自动控制)*2

        XY 可测量范围

        92 x 86 mm*2

        载物台

        XY 行程

        70 x 70 mm (手动)

        Z 行程

        73 mm (电动)

        承受负重

        4.5 kg

        动作距离

        75 mm

        摄像元件

        1 英寸400 万像素单色CMOS

        投光镜头

        双远心镜头 x 2

        受光镜头

        双远心镜头

        照明系统

        观察用光源

        LED环形照明 (红、蓝、绿)

        测量用光源

        白色LED

        数据处理部

        基恩士指定专用电脑 (操作系统为Windows 10 Pro)

        电源

        电源电压

        100 至 240 VAC 50/60 Hz

        消耗功

        200 VA 以下

        耐环境性

        使用环境温度

        +15 至 30 ℃

        工作环境湿度

        35 至 80 % RH (无凝结)

        重量

        约 25 kg*3

        *1 使用基恩士规定的基准规、以基恩士规定的测量模式进行测量时的数值 (环境温度 23 ±1 ℃)
        *2 需要使用测量功能扩展模块 (VR-H3J)
        *3 测量部单体的重量约为11 kg

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