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          3D轮廓测量仪VR 系列

          3D 轮廓测量仪 工作头

          VR-5100

          规格

          选择语言

          型号

          VR-5100

          类型

          工作头

          照明系统

          观察用光源

          LED环形照明 (红、蓝、绿)

          测量用光源

          白色LED

          控制器

          VR-5000

          观察视野

          低倍 (大视野)

          15 英寸显示器上的倍率 12×

          24.0 mm

          18.0 mm

          15 英寸显示器上的倍率 25×

          12.0 mm

          9.0 mm

          15 英寸显示器上的倍率 38×

          8.0 mm

          6.0 mm

          15 英寸显示器上的倍率 50×

          4.5 mm

          高倍 (高分辨率)

          15 英寸显示器上的倍率 40×

          7.6 mm

          5.7 mm

          15 英寸显示器上的倍率 80×

          3.8 mm

          2.9 mm

          15 英寸显示器上的倍率 120×

          2.5 mm

          1.9 mm

          15 英寸显示器上的倍率 160×

          1.4 mm

          变焦

          1 至 4 倍

          高度测量

          显示分辨率

          0.1 µm

          高度测量范围

          无Z 连接

          低倍 (大视野) : 10 mm
          高倍 (高分辨率) : 1 mm

          有Z 连接

          低倍 (大视野) : 50 mm
          高倍 (高分辨率) : 30 mm

          重复精度σ

          无Z 连接

          0.4 µm*1

          有Z 连接

          1.0 µm*1

          宽度测量

          重复精度σ

          低倍 (大视野) : 1 µm
          高倍 (高分辨率) : 0.5 µm
          *1

          图像拼接功能

          手动测量 (XY手动移动 + Z自动控制)*2

          XY 可测量范围

          92 x 86 mm*2

          载物台

          XY 行程

          70 x 70 mm (手动)

          Z 行程

          73 mm (电动)

          承受负重

          4.5 kg

          动作距离

          75 mm

          摄像元件

          1 英寸400 万像素单色CMOS

          投光镜头

          双远心镜头 x 2

          受光镜头

          双远心镜头

          数据处理部

          基恩士指定专用电脑 (操作系统为Windows 10 Pro)

          电源

          电源电压

          100 至 240 VAC 50/60 Hz

          消耗功率

          200 VA 以下

          环境抗耐性

          使用环境温度

          +15 至 30 ℃

          工作环境湿度

          35 至 80 % RH (无凝结)

          重量

          约 25 kg*3

          *1 使用基恩士规定的基准规、以基恩士规定的测量模式进行测量时的数值 (环境温度 23 ±1 ℃)
          *2 需要使用测量功能扩展模块 (VR-H3J)
          *3 测量部单体的重量约为11 kg

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