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        干涉式同轴 3D 位移测量仪WI-5000 系列

        WI-001

        测量头

        高精度测量仪器应用需求 调查活动

        规格

        选择语言

        型号

        WI-001*1*2*3

        参考距离

        18 mm

        测量范围

        Z

        1.4 mm(标准模式),0.7 mm(高速模式)

        XY

        1 × 1 mm

        最小检测区域

        4 × 4 µm

        重复精度(段差)

        0.1 µm*4

        直线性(段差)

        ±2.8 µm(±0.2% of F.S.,F.S.=1.4 mm,+20 至+30℃)*5

        测量用光源

        类型

        红外线SLD

        中心波长

        830 nm

        激光分类(IEC60825-1, GB7247.1)

        3R 类

        输出

        3.6 mW

        引导用光源

        类型

        红色半导体激光

        波长

        660 nm

        激光分类(IEC60825-1, GB7247.1)

        1 类

        输出

        0.15 mW

        采样周期

        内部触发

        133 ms(高速模式),266 ms(标准模式)

        外部触发

        最快 266 ms(高速模式),最快 532 ms(标准模式)*6

        环境抗耐性

        环境光照

        白炽灯/荧光灯:5,000 lux 以下

        环境温度

        0 至 +35 °C

        相对湿度

        20 至 85 % RH (无凝结)

        重量

        约 3000 g

        *1 FDA (CDRH) 的激光分类是基于 IEC60825-1 并根据 Laser Notice No.50 的要求而实施的。高度(从测量头的基准面到测量工件的距离)的分辨率为 1µm(*2)。
        *2 使用基恩士标准目标物,并测量单一矩形区域(*3)的平均高度 30 秒时的±3σ 值(自动修复OFF 时)。
        *3 矩形的尺寸为WI-001:0.3 × 0.9 mm,WI-004:1.1 × 3.7 mm,WI-010:3 × 9 mm。
        *4 使用基恩士标准目标物,并测量 2 个矩形区域(*3)的平均段差 30 秒时的σ 值(自动修复OFF 时,且拍摄时间为精确度优先时)。
        *5 使用基恩士标准目标物,并测量 2 个矩形区域(*3)的平均段差时的值(自动修复OFF 时,且拍摄时间为精确度优先时)。
        *6 拍摄时的工件停止时间为高速模式 120 ms,标准模式 240 ms。

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