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          干涉式同轴 3D 位移测量仪WI-5000 系列

          测量头

          WI-004

          高精度测量仪器应用需求 调查活动

          接触式位移传感器

          规格

          选择语言

          型号

          WI-004*1*2*3

          参考距离

          18 mm

          测量范围

          Z

          1.4 mm(标准模式),0.7 mm(高速模式)

          XY

          4 × 4 mm

          最小检测区域

          15 × 15 µm

          重复精度(段差)

          0.1 µm*4

          直线性(段差)

          ±2.8 µm(±0.2% of F.S.,F.S.=1.4 mm,+20 至+30℃)*5

          测量用光源

          类型

          红外线SLD

          中心波长

          830 nm

          激光分类(IEC60825-1, GB7247.1)

          3R 类

          输出

          3.6 mW

          引导用光源

          类型

          红色半导体激光

          波长

          660 nm

          激光分类(IEC60825-1, GB7247.1)

          1 类

          输出

          0.15 mW

          采样周期

          内部触发

          133 ms(高速模式),266 ms(标准模式)

          外部触发

          最快 266 ms(高速模式),最快 532 ms(标准模式)*6

          环境抗耐性

          环境光照

          白炽灯/荧光灯:5,000 lux 以下

          环境温度

          0 至 +35 °C

          相对湿度

          20 至 85 % RH (无凝结)

          重量

          约 3000 g

          *1 FDA (CDRH) 的激光分类是基于 IEC60825-1 并根据 Laser Notice No.50 的要求而实施的。高度(从测量头的基准面到测量工件的距离)的分辨率为 1µm(*2)。
          *2 使用基恩士标准目标物,并测量单一矩形区域(*3)的平均高度 30 秒时的±3σ 值(自动修复OFF 时)。
          *3 矩形的尺寸为WI-001:0.3 × 0.9 mm,WI-004:1.1 × 3.7 mm,WI-010:3 × 9 mm。
          *4 使用基恩士标准目标物,并测量 2 个矩形区域(*3)的平均段差 30 秒时的σ 值(自动修复OFF 时,且拍摄时间为精确度优先时)。
          *5 使用基恩士标准目标物,并测量 2 个矩形区域(*3)的平均段差时的值(自动修复OFF 时,且拍摄时间为精确度优先时)。
          *6 拍摄时的工件停止时间为高速模式 120 ms,标准模式 240 ms。

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