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          分光干涉式晶片厚度计SI-F80R 系列

          SI-F1003

          控制器 出口管制不受控制品

          规格

          选择语言

          型号

          SI-F1003*1

          类型

          主控制器 独立型*2

          可连接的光谱单元数

          2

          显示

          最小显示单位

          0.001 µm

          显示范围

          ±999.999 µm 至 ±9,999.99 mm,(可选 7 种设定)

          显示周期

          10 次/秒

          端子台

          激光远程联锁输入

          无电压输入*3

          定时 1 输入

          无电压输入 2*3

          复位 1 输入

          无电压输入*3

          自动调零1 输入

          激光控制输入

          模拟电压输出

          ±10 V x 2 输入,输出阻抗: 100 Ω*3

          模拟电流输出

          4 至 20 mA x 2 输出,最大负载阻抗: 350 Ω*3

          警报输出

          NPN 开集极输出(N.C.)*3

          通用比较器输出

          NPN 开集极输出*3

          扩展接口

          定时输入

          无电压输入 2*3

          复位输入

          无电压输入*3

          自动调零输入

          程序切换输入

          无电压输入 x 3 输入*3

          警报输出

          NPN 开集极输出(N.C.)*3

          比较器/ 二进制 输出

          二进制输出

          测量数据输出 (21 位), 可选 OUT 的 NPN 开集极输出*3

          选通脉冲输出

          NPN 开集极输出*3

          二进制选择输出

          二进制选择输入

          无电压输入*3

          RS-232C 接口

          测量数据输出和控制输入/输出 (波特率最高可选择 115200 bps)

          USB 接口

          兼容 2.0 HighSpeed(兼容 USB 1.1 Full-SPEED)

          Ethernet 接口

          100Base-TX/10Base-T

          主要功能

          12 个 OUT 同时测量
          计算、平均、滤波器、换算测量、测量值警报、容差设定、自动调零,数据存储, 光线监控器、8 程序存储器、干涉计模式、遮罩、设定支持软件连接等。

          额定

          电源电压

          24 VDC ±10 %、纹波 (P-P) 10 % 以下

          消耗电流

          连接 1 个传感头时: 0.6 A 以下、连接 6 个传感头时: 1.5 A 以下。

          环境抗耐性

          环境温度

          0 至 +50 °C*4

          相对湿度

          35 至 85 % RH (无凝结)

          抗震性

          10 至 55 Hz、双振幅 0.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 个小时

          重量

          约 600 g

          *1 可单独使用SI-F1000。测量值显示以及设定变更,可通过显示面板(SI-FD500)或设定支援软件(SI-H1)进行。
          *2 可独立使用 SI-F1003。可使用显示屏 (SI-FD500)和设定支持软件 (SI-H13)显示测量值并更改设定。
          *3 • NPN 开极集极额定输出:最大 50 mA(最大 40 V),残余电压:最大 0.5 V。
          • 无电压额定输入:启动电压:最大 1 V,关闭电流:最大 0.6 mA。
          • SI 系列的部分输入/输出电路是内部共用电路。请注意,内部公共端之间不会因连接线/外部设备之间的电位差而产生电位差。
          要了解详细信息,请参见“接线注意事项”。
          *4 当连接两个或更多扩展控制器时,环境温度为 0 至 +40 °C。

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