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        分光干涉式晶片厚度计SI-F80R 系列

        SI-FD500

        显示面板

        规格

        选择语言

        型号

        SI-FD500

        类型

        主控制器 独立型*1

        可连接的光谱单元数

        2

        显示

        最小显示单位

        0.001 µm

        显示范围

        ±999.999 µm 至 ±9,999.99 mm,(可选 7 种设定)

        显示周期

        10 次/秒

        端子台

        激光远程联锁输入

        无电压输入*2

        定时 1 输入

        无电压输入 2*2

        复位 1 输入

        无电压输入*2

        自动调零1 输入

        激光控制输入

        模拟电压输出

        ±10 V x 2 输入,输出阻抗: 100 Ω*2

        模拟电流输出

        4 至 20 mA x 2 输出,最大负载阻抗: 350 Ω*2

        警报输出

        NPN 开集极输出(N.C.)*2

        通用比较器输出

        NPN 开集极输出*2

        扩展接口

        定时输入

        无电压输入 2*2

        复位输入

        无电压输入*2

        自动调零输入

        程序切换输入

        无电压输入 x 3 输入*2

        警报输出

        NPN 开集极输出(N.C.)*2

        比较器/ 二进制 输出

        二进制输出

        测量数据输出 (21 位), 可选 OUT 的 NPN 开集极输出*2

        选通脉冲输出

        NPN 开集极输出*2

        二进制选择输出

        二进制选择输入

        无电压输入*2

        RS-232C 接口

        测量数据输出和控制输入/输出 (波特率最高可选择 115200 bps)

        USB 接口

        兼容 2.0 HighSpeed(兼容 USB 1.1 Full-SPEED)

        Ethernet 接口

        100Base-TX/10Base-T

        主要功能

        12 个 OUT 同时测量
        计算、平均、滤波器、换算测量、测量值警报、容差设定、自动调零,数据存储, 光线监控器、8 程序存储器、干涉计模式、遮罩、设定支持软件连接等。

        额定

        电源电压

        24 VDC ±10 %、纹波 (P-P) 10 % 以下

        消耗电流

        连接 1 个传感头时: 0.6 A 以下、连接 6 个传感头时: 1.5 A 以下。

        环境抗耐性

        环境温度

        0 至 +50 °C*3

        相对湿度

        35 至 85 % RH (无凝结)

        抗震性

        10 至 55 Hz、双振幅 0.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 个小时

        重量

        约 600 g

        *1 可独立使用 SI-F1003。可使用显示屏 (SI-FD500)和设定支持软件 (SI-H13)显示测量值并更改设定。
        *2 • NPN 开极集极额定输出:最大 50 mA(最大 40 V),残余电压:最大 0.5 V。
        • 无电压额定输入:启动电压:最大 1 V,关闭电流:最大 0.6 mA。
        • SI 系列的部分输入/输出电路是内部共用电路。请注意,内部公共端之间不会因连接线/外部设备之间的电位差而产生电位差。
        要了解详细信息,请参见“接线注意事项”。
        *3 当连接两个或更多扩展控制器时,环境温度为 0 至 +40 °C。

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