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          数码显微系统VHX-900 系列

          VHX-S15

          3D形状自动测量单元

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          VHX-S15

          支持镜头

          VH-Z500 (W-R)、VH-Z450、VH-Z100 (W-R)、VH-Z75

          马达

          5 相步进马达

          定位精度

          6 µm*1

          重复精度

          ±0.5 µm*2

          平台移动量

          15 mm

          分辨率

          0.05 µm / 脉冲

          载重

          5 kg

          额定

          电源电压

          100 至 240 VAC、50/60 Hz

          额定值

          功率消耗

          70 VA

          环境抗耐性

          环境温度

          +5 至 +40 °C

          相对湿度

          35 至 80 % RH (无凝结)

          重量

          控制器部:3 kg
          电动载物台部:1.3 kg

          *1 电动载物台单体的典型值。
          *2 电动载物台单体的典型示例。

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