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导入案例 客户之声 <厚度篇>

案例 1: 玻璃的厚度测量

行业种类 半导体和液晶行业
用途名称 玻璃的厚度测量
采用机型

使用A公司的激光移位计测量了玻璃的厚度。有时图案面会产生追踪误差,难以改善检查效率。
通过采用基恩士的激光移位计LK系列,可消除图案面的追踪误差,并改善检查效率。

客户之声

欢迎采用本设备。
因玻璃面与图案面的反射率之差导致图案面的追踪误差。为了在各个面上呈现最佳的反射光量,可通过激光移位计LK系列高速控制发射时间和发射功率,无限降低追踪误差的影响。

基恩士

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案例 2: 多层薄膜的膜厚测量

行业种类 电子和电机行业
用途名称 多层薄膜的膜厚测量
采用机型

通过X线式的膜厚计测量了透明多层薄膜的膜厚。测量点较大,无法管理细微厚度的偏差。
通过采用基恩士的分光干涉式激光位移计,可测量细微的薄膜厚度,并活用于吐出流量、压力及传输速度的最佳控制。

客户之声

欢迎采用本设备
分光干涉式激光位移计SI系列可通过30 μm的小光点来测量厚度,因此能准确测量至边缘部。可用于检测缠绕不良和预防扎带现象。

基恩士

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案例 3: 晶圆的厚度测量

行业种类 半导体和液晶行业
用途名称 晶圆的厚度测量
采用机型

通过接触式测量仪管理了晶圆的厚度。存在测量时切开晶圆导致划伤的课题,因此研究使用非接触测量仪。
通过采用基恩士的分光干涉式激光位移计SI-R系列,无需担心划伤晶圆。头部较小,可安装于装置内,从而能始终监视晶圆的厚度。

客户之声

欢迎采用本设备。
分光干涉式激光位移计SI-R系列采用了可透过Si及GaAs、SiC、InP、a-Si等半导体的近红外SLD。因此,即使贴有BG胶带,仍可准确测量晶圆的厚度。

基恩士

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案例 4: 面条的厚度测量

行业种类 食品行业
用途名称 面条的厚度测量
采用机型

使用千分尺抽检了面条的厚度。由于面条柔软,受到接触压力的影响,会存在因人而异的测量结果偏差。
通过采用基恩士的激光移位计LK系列,实现了在线管理厚度。当然,由于为非接触式测量,也可解决因人而异的偏差问题。

客户之声

欢迎采用本设备。
面条的厚度测量是采用实绩较多的一种用途。由于面条的制造工序处于面粉弥漫的环境,因此稳定测量值非常重要。
激光移位计LK系列配备了能消除突发性值的中值滤波器,可不受面粉的影响进行稳定测量。

基恩士

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案例 5: 橡胶薄板的厚度测量

行业种类 树脂和橡胶行业
用途名称 橡胶薄板的厚度测量
采用机型

使用A公司的激光移位计在线测量了橡胶薄板的厚度。
由于不支持产品公差的严格要求,因此尝试了基恩士的激光移位计LK系列。也可通过LK系列解决以往因表面粗糙度影响所产生的测量值偏差。由于测试结果良好,因此决定购买。

客户之声

欢迎采用本设备。
激光移位计LK系列拥有392 kHz超快采样速度的特点。通过平均处理高速采样所获得的大量数据,即使在线测量仍可稳定测量厚度。

基恩士

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案例 6: 马达机芯的迭片厚度测量

行业种类 运输和金属行业
用途名称 马达机芯的迭片厚度测量
采用机型

马达机芯迭片的性能随迭片数量而异,因此要目视检查安装的迭片是否为规定数量。
使用基恩士的激光移位计LK系列能在线测量厚度,可自动进行抽检。

客户之声

欢迎采用本设备。
若要通过厚度测量判断迭片数量是否在规定范围内,则要求精确到微米级的测量精度。激光移位计LK系列采用了能大幅控制表面粗糙度影响的光学设计,并配备了专用部件,可在线高精度测量任何目标物。

基恩士

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案例 7: 玻璃面板的密封材料厚度测量

行业种类 运输和金属行业
用途名称 玻璃面板的密封材料厚度测量
采用机型

使用相机检查了玻璃面板的密封材料。虽然目前可以检查涂层破损,但还需要检查密封材料的倾斜,因此导入了基恩士的2D激光移位计LJ系列。将传感头固定在胶枪上,不仅可测量涂层破损,还可测量厚度、宽度及截面面积等。

客户之声

欢迎采用本设备。
2D激光移位计LK系列的特点是具备超快的采样速度。即使在高速控制胶枪的情况下,仍可进行窄小间距的测量,因此能防止密封不良。

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