测量1反射型激光移位计

通过移动工件或传感头累积高度数据来测量形状。

要点

  • 与2D激光移位计相比,形状测量精度更高。
  • 必须有移动传感头或工件的机构。
  • 移动传感头或工件时的偏差会导致测量误差。
LK-G系列
  • 三角测量原理
  • 超高度392 kHz采样
  • 可连接12台传感头
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LK-G系列
SI系列
  • 分光干涉方式
  • 超分辨率1 nm
  • 配备φ2 mm微型传感头
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SI系列

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