测量1反射型激光移位计

如果光照射到透明工件上,表面和里面会分别产生反射。通过分别识别这些表面反射光和里面反射光来测量厚度。

要点

测量仪的选择至关重要

  • 请确认是否超过可识别表面与里面的极限厚度。
  • 即使表面与里面的反射率不同,也请确认是否可稳定测量。
SI-T系列
  • 分光干涉方式
  • 超稳定测量单层乃至多层
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SI-T系列
LK-G系列
  • 三角测量方式
  • 超高速392 kHz采样
  • 可连接12台传感头
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LK-G系列

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