测量5反射型2D激光移位计

使用2D激光移位计同时测量基础面和工件,并根据获取的形状测量高度差,以此求出厚度。

要点

如果工件与基础面之间产生间隙,则会产生误差。

  • 使用如平板一般面精度较高的基础面。
  • 利用真空吸附或磁力吸附。

等,提高紧密性至关重要。

LJ-V系列
  • 2D三角测量方式
  • 通过激光线束实现多点测量
  • 超高速 64000次拍摄/ 秒
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LJ-V系列
LT系列
  • 共焦方式
  • 光点直径φ2 μm
  • 薄膜测量能力较高
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LT系列

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