测量2
反射型激光移位计
移动工件或传感器头，根据各点的高度数据测量变形、平面度。
要点
仅使用1台传感头，因此可降低成本。
移动传感器头时的偏差会导致测量误差。
必须有移动传感器头的机构。
LK-G系列
三角测量方式
超高速392 kHz采样
可连接12台传感头
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SI系列
分光干涉方式
超高分辨率1 nm
配备φ2 mm微型传感器头
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tcm:115-1582589-64
