这是一种为薄膜、片材、钢板、玻璃等相对较薄的基材(工件)赋予新功能的加工,也被称为“转化”。通常情况下,通过涂布(涂裱)、蒸镀、溅射镀膜等方式实现该目的的工序,称之为“涂膜”。该工序被广泛运用于智能手机、平板电脑终端中需求很高的触摸屏电极、液晶玻璃及薄膜涂膜、电子印刷电路板上的精密图样涂布等广泛领域。下面我们将为您介绍通过数码显微系统来观察、测量涂膜的案例。

涂膜的数码显微系统下的观察、测量

镀层与涂膜的差异

镀层
通过金属在原材料上形成包覆层,通常采用电镀来在导电性表面上形成金属镀层。此外,还有利用化学反应的化学镀、浸入熔融金属中来形成镀层的熔融镀、吹覆金属蒸汽的蒸镀等。
涂膜
通过在原材料上包覆其他材质,在导电性表面和非导电性表面上均可形成涂膜。可以认为涂膜也包括了镀层。

涂膜的目的

功能赋予
可以对基材(工件)赋予粘着性、润湿性、拨水性、耐腐蚀性、耐热性、耐磨损性等功能。
表面处理
还有通过涂布药剂来优化基材表面的“表面处理”案例。例如,在将光阻剂涂布到半导体晶圆之前,通过涂布药剂来进行的疏水加工等。
装饰性(美观性)
具有提升外观(美观性)的效果。

涂膜的种类

干式涂膜(干法)
将用来赋予功能的物质以“固体”状态直接涂布到基材上的技术,则统称为“干式涂膜(干法)”。代表性的干式涂膜方法,包括真空蒸镀、离子电镀、溅射镀膜等。被用于金属材料等的涂膜,无需干燥工序即可实现高品质成膜,但会受到装置大型化及连续生产数的限制,具有成本高昂的缺点。
湿式涂膜(湿法)
常见于各类工业领域,与“涂布(涂裱)”密切相关的就是“湿式涂膜”。通过溶解或分散到溶媒中等处理,让用于赋予功能的物质“液体化”。它是将上述液剂均匀涂布到基材上,通过干燥及硬化加工实现“固体薄膜化”的技术。需要避免灰尘及异物附着到液膜上时,可以在湿式工序中使用无尘室。不同于干式涂膜,无需真空环境即可在大气压环境下进行涂布(涂裱)。装置的自由度更大,可连续供应工件(基材)。由于湿式涂膜在量产方面优点更明显,所以使用各类涂布方式的湿式涂膜被广泛运用于众多领域。

通过数码显微系统来观察、测量涂膜的案例

为您介绍使用基恩士的4K数码显微系统“VHX系列”来观察、测量涂膜的应用案例。

树脂涂膜面的缺陷观察
ZS-200 1000× 环状照明图像
同轴落射照明+HDR图像
通过HDR让缺陷实现可视化。
观察涂膜材料
VHX-E500 2000× 同轴落射照明图像

Optical Shadow Effect Mode(色差图)图像

通过Optical Shadow Effect Mode功能,
能够实现凹凸的可视化。

观察涂膜的涂布不均

VH-Z20 200× 同轴落射照明

  • A:非微分干涉+HDR图像
  • B:微分干涉+HDR图像

通过微分干涉+HDR,能够实现涂布不均的可视化。

透明涂膜的深度合成

VH-Z20 100× 环状照明

  • A:非深度合成图像
  • B:深度合成图像

还可以观察透明涂膜的表面。

观察橡胶产品的涂膜面
VHX-E500 1500× 同轴落射照明+HDR图像
自动面积测量图像
通过自动面积测量,可以实现涂膜粒子不均的定量化。
测量晶圆涂膜的膜厚差异
VHX-E2500 2500× 同轴落射照明
测量封装印刷电路板的涂膜厚度
VH-Z100 400× 同轴侧射照明
观察透明涂膜的异物
VHX-E500 700× 同轴落射照明+偏光镜
成功确认了异物位于涂膜内部。