选择识别位移传感器的方式—从应用开始着手
倾斜、平行度
测量对象物的倾斜、平行度。测量值的“最大值 - 最小值”是倾斜、平行度。
接触式 GT系列
使用多个接触式传感器并测量平行度。通过使用GT2系列的计算功能，可以轻松进行测量。GT 2系列包含主机在内，可以扩展和计算多达15个单元。
选择要点
- 可测量各种固体
- 可高精度测量
光学反射式 IL系列 / IA系列
使用多台光学反射式传感器，测量倾斜。使用IL系列放大器内置的计算功能，轻松进行测量。
选择要点
- 小光点
- 可远离对象物，单侧安装，安装简单
光学透过式 IG系列
使用多个光学对射式传感器，并且从每个传感器的遮光位置测量倾斜度。
当在对象物发生倾斜时，遮光量减少，因此这是一种将该状态判断为倾斜的方法。
它与宽度测量相同，但只在宽度恒定时有效。
通过使用IG系列放大器的计算功能，可以轻松进行测量。
选择要点
- 通过CCD可检测对象物的边缘
- 重复精度高
- 可测量透明体
涡电流式 EX系列
用涡电流式传感器测量平行度。使用EX系列，可以非接触并高精度进行测量。
选择要点
- 高分辨率、高精度
- 感测头小型化
- 超群的耐环境性
- 只针对金属
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接触式 GT系列 |
光学反射式 IL系列 / IA系列 |
光学透过式 IG系列 |
涡电流式 EX系列 |
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| 重复精度 | 0.1μm | 1μm | 1μm | 0.3μm |
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| 由于对象物的公差不同，所需要的重复精度也会有所不同。通常情况下，重复精度是公差的1/10。 测量精度因为物体的表面状态和传感器功能的不同而不同，需要详情请联系就近的销售办事处。 |
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| 测量范围 |
0mm至50mm  |
20mm至3500mm  |
10mm、28mm  |
0mm至10mm  |
| 必须根据传感器和工件之间的距离以及形状差异（移动量）来选择测量范围。 因为机种的特征不同，测量范围、检测距离也会有所不同。 |
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| 响应频率 | 至40Hz | 至3kHz | 至2kHz | 40kHz |
| 能否检测取决于物体的移动速度和节拍时间。 特别是当物体高速移动时，更加需要确认。 1 Hz = 1次/秒 |
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