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激光显微系统

形状测量激光显微系统

优点 缺点
  • - 可用较深的焦点深度且彩色地观测目标对象。
  • - 可以获取三维形状,并显示彩色3D 图像。
    还能对抗蚀剂等透明体进行膜厚测量。
  • - 可在大气中进行分析,无需预处理样本。
  • - 不受样本大小和材质的限制,操作简单,通用性强。
  • - 不能进行超高分辨率的观测及1 nm 以下的高精度测量。
  • - 不能获取没有照射到激光的样本侧面( 壁面)等的信息。
  • - 不能测量吸收激光光源波长的材质。

形状测量激光显微系统是可以同时进行深焦点深度的观测与三维测量的观测、测量仪器。不受样本大小和材质的限制,并可以在常温环境下进行观测,操作简便且可如光学显微镜般使用。无需对样本进行预处理,还能进行彩色观测,可以准确分析出目标对象的状态。还能观测透明体的膜表面、膜内部和背面,并测量膜形状的厚度。

与SEM 和AFM 相比使用更加方便,但观测倍率和测量分辨率较低。另外,对于高宽比较高的底部或角度较大的斜面,激光反射无法返回,因而不能进行观测、测量。



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