从单层到多层，
可以实现在线稳定测量 全新 分光干涉位移型多层膜厚测量仪 SI-T 系列

粘附层也可以稳定测量

借助 KEYENCE配备的光量累计功能，
类似粘附层等粗糙的表面，也可以实现稳定测量。

实现广范围测量

在拉伸制程等过程中，可以应用于上游至下游的各种场所。

针对测量场景量身定制的阵容

多层位移测量型 SI-T10

参考距离 :
9 mm
测量范围 :
0.01 ～ 1.0 mm
特点
  • 简便测量多层膜
  • 可测量位移
  • ø8 mm &设定距离9 mm 的空间节省型

长距离厚度测量型 SI-T80

参考距离 :
80 mm
测量范围 :
0.01 ～ 1.0 mm
特点
  • 设定80 mm 的长距离
  • 抗工件抖动
  • 有利于高温工件

应用

在制程内测量基材厚

涂布后的湿膜厚度测量

详情请参阅产品目录。

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