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          分光干涉位移型多层膜厚测量仪

          SI-T 系列

          高精度测量仪器应用需求 调查活动

          接触式位移传感器

          选择语言

          控制器

          型号

          SI-T1000V

          SI-TA100

          独立型

          SI-T1000/SI-TD500

          类型

          主控制器 一体型

          扩展控制器*4

          可连接的光谱单元数

          2 台

          1 台

          显示

          最小显示单位

          0.001 µm

          显示范围

          ±999.999 μm到 ±9999.99 mm(可选 7 种设定)

          显示频率

          10 次/ 秒

          端子台

          激光远程联锁输入

          无电压输入*1

          *1

          计时 1 输入

          无电压输入2*1

          复位 1 输入

          无电压输入*1

          自动归零 1 输入

          激光控制输入

          模拟输出电压

          ±10V ×2 输出, 输出阻抗100Ω*1

          ±10V ×1 输出, 输出阻抗100Ω*1

          模拟电流输出

          4 到20mA ×2 输出, 最大负载阻抗 350Ω*1

          4 到20mA ×1 输出 , 最大负载阻抗 350Ω*1

          报警输出

          NPN 开集极输出(N.C.)*1

          *1

          一般比较器输出

          NPN 开集极输出*1

          扩展连接器

          计时输入

          无电压输入2*1

          复位输入

          无电压输入*1

          自动调零输入

          程序切换输入

          无电压输入 ×3 输入*1

          报警输出

          NPN 开集极输出(N.C.)*1

          判定、二进位输出

          二进制输出

          测量数据输出(21bit) , 可选OUT
          NPN 开路集电极输出*1

          选通脉冲输出

          NPN 开集极输出*1

          二进制选择器输出

          二进制选择输入

          无电压输入*1

          RS-232C 接口

          测量数据输出和控制输入/ 输出
          ( 波特率最高可选择 115200 bps)

          USB 接口

          兼容USB2.0 HI-SPEED( 兼容USB1.1 Full-SPEED)

          Ethernet 接口

          100Base–TX/10Base–T

          主要功能

          测量面设定/ 测量面间计算功能、层数校验功能、光量累计功能、偏转自动补偿功能、12OUT 同时测量功能、计算功能、平均功能、滤波功能、校正功能、测量功能、测量值警报设定功能、容差设定功能、自动调零功能、数据存储功能、光线监控功能、8 程序存储器功能、遮罩功能、设定支持软件连接功能等

          额定

          电源电压

          24VDC±10% 脉动10%(P–P)以下

          随主控制器提供

          消耗电流

          连接1 个传感头时 0.6A 以下
          连接6 个传感头时 1.5A 以下

          环境抗耐性

          环境温度

          0 到+50°C*2

          0 到+50°C*5

          相对湿度

          35 到85%RH 无冷凝

          抗震性

          10 到55Hz,XYZ 方向上0.5 mm 双倍振幅,各2 小时*3

          重量

          约600g

          约300g

          *1 NPN 开路集电极输出额定输出:最大 50mA(最大 40V),残余电压最大 0.5V
          无电压额定输入:启动电压 最大 1V,关闭电流最大 0.6mA
          本机的各输入/输出电路,部分是内部共用电路。请注意,内部公共端子之间不会因连接线/外部设备间的电位差而产生电位差。
          *2 当连接 2 台或更多扩展控制器时,环境温度为 0 到 40°C。
          *3 当连接 2 台或更多扩展控制器时,抗震性为“10 到 55Hz ,XYZ方向上 0.3 mm 双倍振幅,各2小时”。
          *4 最多可在主控制器上连接 4 个扩展控制器。
          *5 当连接 2 台或更多扩展控制器时,环境温度为 0 到 40°C。

          传感头

          型号

          SI-T10*1

          SI-T80

          SI-TS10*8*1

          类型

          多层位移测量型 传感头

          长距离厚度测量型 传感头

          扫描位移测量型 传感头

          分光单元

          SI-T10U

          SI-T80U

          SI‐TS10U

          测量范围 (折射率n=1)

          0.01 到1.0 mm

          参考距离

          9 mm*2

          80 mm*2

          9.1 mm*2

          测量用光源

          红外SLD , 输出1 mW , 1 类激光产品(IEC60825-1)

          光束直径

          ø30 µm*3

          φ25 μm*3

          φ30 μm*3

          线性度

          ±0.3 µm*4

          ±0.3 µm*7

          ±0.3 µm*4

          分辨率

          0.01 µm (0.25 µm)*5*6

          0.01 µm*6

          0.01 μm(0.25 μm)*5*6

          采样周期

          1 ms

          扫描范围

          1mm±0.1mm

          扫描周期

          7.8Hz±0.1Hz

          LED显示

          目标靠近测量中心:绿光。目标在测量范围内:橙光。目标在测量范围外:橙光闪烁。

          环境抗耐性

          外壳防护级

          IP64

          环境光照

          白炽灯、荧光灯:10000 lux 以下

          环境温度

          0 到+40°C

          0 到+50°C

          0 到+40°C

          相对湿度

          35 到85%RH(无冷凝)

          抗震性

          10 到55Hz,XYZ 方向上1.5 mm
          双倍振幅,各2 小时

          10 到55Hz,XYZ 方向上0.5 mm
          双倍振幅,各2 小时

          材料

          SUS304

          重量

          约 70g (含连接线)

          约340g (含连接线)

          *1 传感头和分光单元已经配套调整完毕。无兼容性。
          *2 表示与传感头正面的距离。会出现最大 ±0.2 mm 的个别差异。
          *3 表示测量范围内的最小光束直径。
          *4 当测量对象是玻璃板表面并将平均测量次数设定为 64 次时获得的值
          *5 不使用峰值间计算时为 0.25 μm。
          *6 当测量对象是位于测量中心厚度为 t=0.1 mm 的玻璃,并将平均测量次数设定为 4096 次时获得的值
          *7 当测量对象是 2 块玻璃板的间隙厚度,并将平均测量次数设定为 64 次时获得的值
          *8 使用扫描位移测量传感头扫描机构所需要的电源电压为24VDC±10% 脉动低于10%(P–P) 最大电流消耗低于0.3A

          专用 PC 软件

          型号

          SI-H1T*1

          类型

          PC软件

          支持 OS

          Windows 10*2/Windows 7( SP1 以后)*3/Windows Vista( SP2 以后)*4/Windows XP( SP3 以后)*5

          CPU

          Pentium Ⅲ 1GHz 以上(建议使用1.7GHz 以上)

          存储器容量

          256MB 以上(建议使用1GB 以上)

          硬盘可用空间

          1GB 以上

          显示器

          1024x768 像素、24bit 真彩色以上

          PC接口

          配置有以下任意一种接口:
          USB :Revision2.0 高速(USB1.1 兼容时全速)*6
          LAN :100BASE-TX、10BASE-T*7
          RS-232C(串口)

          *1 用户使用的OS应在建议运行环境以上版本的环境中使用。
          *2 支持 Home、Pro、Enterprise 的各 Edition。
          *3 支持 Home Premium、Professional、Ultimate 的各 Edition。
          *4 支持 Ultimate、Business、Home Premium、Home Basic 的各 Edition。
          *5 支持 Professional Edition 及 Home Edition。
          *6 经由 USB 集线器的连接,不属于保修对象。
          *7 与 LAN 之间的连接及经由路由器的连接,不属于保修对象。

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