分光干涉式激光位移计

产品阵容

SI-T 系列 - 分光干涉位移型多层膜厚测量仪

分光干涉位移型多层膜厚测量仪 SI-T 系列

实现多层膜厚, 采用近红外光・没有危害, 实时在线检测,一秒1000次的采样频率,为当今膜厚测量仪的提供新的可能性。

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SI-F 系列 - 微型传感头型分光干涉式 激光位移计

微型传感头型分光干涉式 激光位移计 SI-F 系列

业界超细微型传感器头，超高精度，解决了内置电子零件传感次的发热问题，也不受电磁噪声影响。

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SI-F80R 系列 - 分光干涉式晶片厚度计

分光干涉式晶片厚度计 SI-F80R 系列

采用近红外 SLD，即使已贴附 BG 带也可测量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于图案而产生的显著差异，也可实现准确的生产线上测量。

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