形状/轮廓

通过光点直径3.5um的小光点扫描，可准确地测量目标物形状。

使用最大宽度为720mm的蓝色激光照射，测量胎面形状。使用多个感测头可对轮胎进行全面测量。

可同步测量包括镜面体在内的测量区域，消除人为测量误差，缩短检测时间。

可以高速并且连续测量医用气囊导管的形状，实时测量各部分尺寸。

绕卷工序后，检测是否有绕卷不规则。如果是X 轴分辨率为最小2.5μm 的LJ-X8000 系列，可正确测量每1 块电极的形状。

将层叠前的电极切割位置反馈到装置。通过正确捕捉电极端部的形状，可高精度地检测边缘位置。通过正确捕捉涂布材料端部的形状，可高精度地检测边缘位置。

测量晶圆边缘部的形状。仅需选择高度差和宽度、角度等测量工具，即可简单测量。另外，通过 3200 point/Profile的超高精细拍摄，实现以往^*难以达到的高精度形状测量。

*与本公司LJ-G5000系列产品的比较

以最大宽度720 mm照射蓝色激光，测量薄膜的起伏、褶皱。由于CMOS的动态范围宽，也能测量透明工件。