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测量传感器的选择
虽然使用两个传感器的系统很常见，但是如果一侧的位置是固定好的，或目标物是透明的，用一个传感器也可以进行测量。根据测量条件的不同会有不同的检测方式，如有疑问，请咨询就近的办事处。
下载目录
对射
薄膜、电极的厚度测量
外壳厚度测量
透过
薄膜宽度测量
透过（不透明）
橡胶板厚度测量
反射
晶圆上的水膜厚度测量
3D
散热材料的涂布检测
轮廓
金属网板印刷后的焊膏厚度测量
透过（透明）
透明薄膜的厚度测量
使用2台传感器夹住目标物，来测量厚度。采用新设计的光学系统和专属夹具，不易受环境温度变化的影响，实现超稳定的厚度测量。此外，高温环境下也能使用。
彩色激光同轴位移计
CL-3000 系列
使用线激光，可测量多个点的厚度。 由于每条线有3200个点，即使在粗糙的表面上也可以进行稳定测量。
2D/3D 线激光测量仪
LJ-X8000 系列
两端安装两个感测头，通过检测边缘位置来测量宽度。 不易受物体的颜色或材质影响，可进行高精度测量。
超高速/高精度测微计
LS-9000 系列
两端安装两个传感器，通过检测边缘位置来测量宽度。透过型测量仪不易受物体的颜色或材质影响，可进行高精度测量。
在线投影图像测量仪
TM-X5000 系列
测量湿法工艺中晶圆上的液体厚度。可对数微米到1 mm左右的各种厚度进行非接触测量。此外，通过采用SLD光源的自主研发分光干涉原理，可进行小光点的高速测量。
分光干涉位移型多层膜厚测量仪
SI-T 系列
扫描目标物的表面形状并使用所得高度信息进行检测。除涂布厚度外，还可同时检测高度、宽度以及体积等。产品采用基恩士全新技术，感测头内置扫描机构，只需安装即可进行检测。
全自动扫描3D 视觉系统
LJ-S8000 系列
需要使用视觉传感器，通过面积判定 OK/NG的情况。今后也可以通过使用 LJ-X8000 系列测量体积及涂抹位置，可节约材料费并实现部件的高密度化。
除了纵向延伸后的脉动或辊轮运动所导致的周期性厚度不均外，也可在线实时测量横向延伸后所注重的边缘厚度。不仅可使用左右 2 个传感头进行测量，也可在中央部等扩展最多 6 个传感头。
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