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测量传感器的选择

形状/轮廓

测量目标物的形状。
除了有使用点激光测量的1D激光位移计以外,还可以提供通过扫描“面”来捕捉形状,之后抽取截面形状组成3D图形的3D激光位移计。
根据不同的测量条件和目标物,测量方法不同,提案的检测方式也有所变化,如有疑问,请与最近的KEYENCE办事处联系。

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通过光点直径3.5um的小光点扫描,可准确地测量目标物形状。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

使用最大宽度为240mm的蓝色激光照射,测量胎面形状。使用多个感测头可对轮胎进行全面测量。

超高速轮廓测量仪

LJ-V7000 系列

可同步测量包括镜面体在内的测量区域,消除人为测量误差,缩短检测时间。

干涉式同轴 3D 位移测量仪

WI-5000 系列

可以高速并且连续测量医用气囊导管的形状,实时测量各部分尺寸。

二维高速投影尺寸测量仪

TM-3000 系列

绕卷工序后,检测是否有绕卷不规则。如果是X 轴分辨率为最小2.5μm 的LJ-X8000 系列,可正确测量每1 块电极的形状。

2D/3D 线激光测量仪

LJ-X8000 系列

将层叠前的电极切割位置反馈到装置。通过正确捕捉电极端部的形状,可高精度地检测边缘位置。通过正确捕捉涂布材料端部的形状,可高精度地检测边缘位置。

2D/3D 线激光测量仪

LJ-X8000 系列

测量晶圆边缘部的形状。仅需选择高度差和宽度、角度等测量工具,即可简单测量。另外,通过 3200 point/Profile的超高精细拍摄,实现以往难以达到的高精度形状测量。

2D/3D 线激光测量仪

LJ-X8000 系列