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采用了三重扫描方式,运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理,无论是高倍率还是低倍率,无论是平面、凹凸还是表面细微粗糙度,无论是镜面体还是透明体,拥有应对各种样品的测量能力(从1nm到50mm),纳米/微米/毫米一台即可完成测量。
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细微表面形状差异数值化的非接触式粗糙度仪已至佳境。
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