粗糙度仪

概要

用于测量目标物表面平滑度（凸凹程度）的装置，又被称为“表面粗糙度仪”。主要分为触针式及激光式。过去通常会使用金刚石材质的触针机型，但由于在测量半导体等表面时可能会划伤表面，因此光学机型正在逐步普及。不光支持平面测量，还有能够测量曲面的机型，近年来还出现了基于表面测量数据，将形状显示为三维图像的仪器。
其用途包括金属表面的磨损状况确认、切削面状况确认，以及涂装时的完成状态确认等。在电子部件薄膜加工不断发展的过程中，部分仪器还能以纳米量级进行测量。

结构与用途

• 使用触针式机型时，通常会使用顶端半径为2 µm的部件。但是，视精密加工品的实际情况，需要研究使用0.1至0.5 µm等级的触针。根据所用的触针，测量值可能出现偏差，必须提前进行确认。

粗糙度仪的主要使用方法

1. 使用接触式时，触针会沿着目标物表面移动，测量表面的粗糙度。相比之下，采用激光的非接触式机型则会用激光照射目标物，通过检测反射光，测量粗糙度。
2. 测量时必须注意测量方向。例如在检测金属加工品时，为了更加确切地捕捉凸凹的特点，基本会进行与加工方向相垂直的测量。
3. 实现准确测量的关键，是决定测量速度。先从较低的速度开始尝试，在测量值稳定的范围内实施测量。

使用注意事项

• 为了确保准确测量，必须定期进行校正。