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选择位移传感器

2D形状 / 3D形状

此处介绍的传感器用于测量目标物的形状。这是通过使用光学点式测量仪器扫描目标物测量2D形状,或使用线型激光直接测量物体形状来实现的。推荐的设置会根据目标物情况和大小等因素而有所不同。请联系最近的销售办事处了解详情。

共焦反射方式
CL系列
CL系列

可以使用光斑激光器扫描目标物以进行轮廓测量。无论目标物材料或颜色如何,均可测量。
小型且轻量、同轴测量,可轻松安装在机械手和XY载物台上。

选择要点

  • 对各类材质/颜色的目标物进行非接触式高精度测量
  • 超小型且轻量,可简单安装
  • 大范围实现全方位高精度测量
CL-3000 系列
彩色激光同轴位移计
CL-3000 系列
光切法
LJ系列
LJ系列

目标物截面的形状用线型激光即刻测量。传感器包含用于测量高度、宽度和截面面积的各种测量工具。在通过整合波形数据获得3D形状后进行检测。

选择要点

  • 可在线检测工件2D高度
  • 超高速检测各种目标物
  • 能够输出轮廓数据
LJ-V系列

LJ-V系列
共焦反射方式
CL系列
CL系列

得益于最小尺寸为φ3.5 μm的激光光斑,可进行共焦轮廓测量。

选择要点

  • 超小型光斑,仅有φ3.5 μm大小
  • 高度差和粗糙面上无死角
  • 通过非接触式测量实现超高精度
CL-3000 系列
彩色激光同轴位移计
CL-3000 系列