选择您的应用。

选择位移传感器

翘曲 / 平面度

通常通过三点检测目标物来测量翘曲。
还可通过使用点式传感器移动目标物来测量,或水平投影激光来直接测量其形状。
检测方法根据测量条件和目标物而有所不同,有时可进行特殊安排。如果有疑问,请联系最近的销售办事处。

光切法
LJ系列
LJ系列

通过将目标物直接暴露在线型激光下,直接测量形状。之后使用测得的波形数据来测量翘曲。也可在扫描时移动目标物来进行3D形状测量。

选择要点

  • 可在线检测工件2D高度
  • 超高速检测各种目标物
  • 能够输出轮廓数据
LJ-V系列

LJ-V系列
三角反射测距法
LK系列
LK系列

在用光学反射型测量仪器扫描目标物后,翘曲可通过任意三点的高度数据进行测量。LK-G系列提供超高速采样,扫描时也可进行稳定测量。

选择要点

  • 目标物选择不由透明度/不透明度或颜色决定
  • 可进行非接触式测量
  • 光斑小、速度快
LK-G5000系列
超高速 / 高精度CMOS激光位移传感器
LK-G5000系列
分光干涉反射法
SI系列
SI系列

为了测量翘曲,使用分光干涉法的测量仪器在三点进行检测。之后,每个点的测量值发送至控制器,在那进行计算并返回测量结果。

选择要点

  • 1 nm分辨率的超高精度
  • 不受环境温度影响
SI-F系列

SI-F系列
接触式
GT系列
GT系列

为了测量翘曲,接触式传感器在三个点进行检测。
通过设置翘曲测量模式,即可使用GT2系列仪器的运算功能来轻松进行测量。

选择要点

  • 目标物选择仅由硬度决定
  • 可进行高精度测量
GT2系列

GT2系列