将抽检高度检测升级为全数检测 从基准面、生产节拍、阈值开始设计

离线抽取检测无法阻止的3件事

问题不在于测量仪的性能，而在于测量次数和记录保存方式。

抽检会漏掉突发的高度异常

因工具磨损或材料批次切换而引起的高度偏差，仅在短时间内突发。如果每隔数十分钟抽检一次，就会漏过该区间并流向后道工序。即使发现异常，也需要追溯到上一次测量并对全数进行重新检测，或者决定是否批量报废。如果进行全数检测，则只需排出不合格品，从而将返工范围控制在很小的范围内。

如果不确定基准面，就无法比较数值

高度并非绝对值，其意义取决于以何处为基准的差值。放在平板上测量的三坐标测量仪与在流水线上测量输送中的工件，两者的基准本来就不同。如果工件本身倾斜，即使测量相同位置，数值也会改变。在实现在线化时，需要先设计以什么作为基准面，例如“根据周围的表面创建基准平面”或“通过对向探头的相对高度进行观察”等。

如果没有阈值，即使能测量也无法判定

如果未确定段差达到多少 µm 时判定为 NG，即使得出数值也无法实际运行。阈值应根据后道工序的干涉或对功能的影响进行反推，并在实测合格品批次分布以掌握现状的基础上进行设置。如果不遵循这一步骤，要么会因过度检测导致产线停机，要么会因漏检而与以往毫无变化。这是与设备导入配套设计的项目。

在线全数检测设计的4个步骤

在选择传感器之前，先确定基准、生产节拍、环境和判定。

1. 1 确定基准面 – STEP①。确定是将工件周围的平坦表面设置为基准平面，还是通过对向探头的相对高度进行观察。一旦确定了基准，就可以抑制工件倾斜的影响。
2. 2 配合生产节拍 – STEP②。确认是否可以在不停止输送的情况下进行测量。通过不需要定位的方式，如果能在输送的同时获取截面，就可以在不改变现有生产节拍的情况下实现全数检测。
3. 3 预估环境变化 – STEP③。在长时间连续运行中，环境温度的变化会表现为测量值的波动。如果采用观察与基准面相对值的结构，就不易受到环境变化的影响。
4. 4 确定阈值并记录 – STEP④。实测合格品批次分布并设置阈值，并设计通过判定输出排出 NG 品的流程。如果保存测量值，就可以直接用于掌握制程能力和进行趋势管理。

从全数检测的角度对比高度、段差检测手段

不是根据测量精度，而是根据是否能进行全数检测、基准是否稳定进行排列。

全数检测中起作用的是基准面和位置补正

在线化进展不顺利的原因，大多不在于传感器的分辨率，而在于基准的不稳定。LJ-X8000系列可以通过最小二乘法将工件周围的平坦面拟合为平面，并将其设定为基准平面，从而根据与该基准平面的相对高度进行评估。同时，区域轮廓检测功能会自动补正工件的位置偏差和倾斜。由于可以一次性获取截面形状，因此可以同时观察多个点，无需停止输送即可进行全数测量。阈值可以以 µm 为单位进行设定，从判定到记录均可在同一系统构成中完成。

支持高度、段差在线全数检测的产品

这是一款可一次性获取截面形状，并根据与基准面的相对高度进行判定的在线轮廓测量仪。

支持从离线抽取检测向在线全数检测的过渡 － LJ-X8000系列

2D/3D 线激光测量仪

通过 3200 point/profile 的超高精细测量，细致呈现截面形状，并将高度、段差、宽度、角度等指标数值化。只需照射线状激光即可一次性获取截面，因此通过 1 次拍摄即可同时测量多个点的高度。根据获取的高度数据，可以通过最小二乘法将工件周围的平坦面拟合为平面，并将其设定为基准平面。如果根据与该基准平面的相对高度进行评估，则可以构建不易受目标物放置方式或环境温度变化影响的系统。

高度图像几乎不受表面印字、图案或颜色的影响，因此即使外观存在波动，也能以相同的基准继续进行判定。针对光泽金属上产生的多重反射和漫反射，杂散光抑制功能会发挥作用。通过区域轮廓检测功能无需进行定位，结合工件自动检测功能，即可实现在线全数测量与检测。只需从段差、宽度、截面积、角度等约 30 种轮廓测量工具中进行选择，即可设定检测，还支持通过判定输出排除 NG 品，以及使用 FTP服务器功能保存测量值和图像。

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