形状测量激光显微系统
VK-X 系列
推荐替代产品: 控制器 - VK-X3000
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控制器 VK-X250K
规格
型号 | VK-X250K | |||
综合倍率 | 28000 倍以下*1 | |||
视野 (最小观察范围) | 11 µm 至 5400 µm | |||
帧频率 | 激光测量速度 | 4 至120 Hz、7,900 Hz*2 | ||
测量原理 | 光学系统 | 针孔共聚焦光学系统 | ||
光接收元件 | 光电倍增器、16 bit 感应 | |||
扫描方式 (常规测量时及图像连接时) | 自动上下限设置功能 高速光量最佳化功能(AAG Ⅱ)反射光量不足补充功能(双扫描) | |||
高度测量 | 显示分辨率 | 0.5 nm | ||
线性标尺 | ||||
动态量程 (来自工件的光接收量的适用幅度) | 16 bit | |||
重复精度σ | 20 倍 40 nm、50 倍 12 nm、150 倍 12 nm*3 | |||
Z轴测量用内存 | 1400 万步骤 | |||
准确性 | 0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4 | |||
Z 载物台结构 | 结构 | 测量头分离结构 | ||
最大样品高度 | 28 mm, 128 mm (可选件) | |||
宽度测量 | 显示分辨率 | 1 nm | ||
重复精度3σ | 20 倍 100 nm、50 倍 40 nm、150 倍 20 nm*3 | |||
准确性 | ±2%*5 | |||
XY 载物台结构 | 手动 运行范围 | 70 mm×70 mm | ||
电动 运行范围 | 50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6 | |||
观察 | 观察图像 | 超高精细彩色CCD 图像 | ||
最大拍摄分析率 | 3072×2304 | |||
测量用激光光源 | 波长 | 紫激光 408 nm | ||
最大输出 | 0.95 mW | |||
激光产品 | 2 类激光产品 (GB7247.1) | |||
重量 | 测量部 | 约26 kg(分离时测量头单体: 约10 kg) | ||
控制器部 | 约 11 kg | |||
*1 23 英寸显示器记载。 |