3D 轮廓测量仪
VR-6000 系列
3D 轮廓测量仪 控制器 VR-6000
规格
型号 | VR-6000 | |||
类型 | 控制器 | |||
工作头 | VR-6200, VR-6100 | |||
观察视野 | 低倍(大视野) | 15 英寸显示器上的倍率 12× | 横向 | 24.0 mm |
纵向 | 18.0 mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 25× | 横向 | 12.0 mm | ||
纵向 | 9.0 mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 38× | 横向 | 8.0 mm | ||
纵向 | 6.0 mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 50× | 横向 | |||
纵向 | 4.5 mm | |||
高倍(高分辨率) | 15 英寸显示器上的倍率 40× | 横向 | 7.6 mm | |
纵向 | 5.7 mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 80× | 横向 | 3.8 mm | ||
纵向 | 2.9 mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 120× | 横向 | 2.5 mm | ||
纵向 | 1.9 mm | |||
15 英寸显示器上的倍率 160× | 横向 | |||
纵向 | 1.4 mm | |||
变焦 | 1 至4 倍 | |||
高度测量 | 显示分辨率 | 0.1 μm | ||
高度测量 范围 | 无Z 连接 | 低倍(大视野): 10 mm | ||
有Z 连接 | 低倍(大视野): 50 mm | |||
重复精度 σ | 无Z 连接 | 0.4 μm *1 | ||
有Z 连接 | 1.0 μm *1 | |||
正确性 | 无Z 连接 | ±2.5 μm *1 | ||
有Z 连接 | ±4.0 μm *1 | |||
宽度测量 | 重复精度σ | 低倍(大视野): 1 μm | ||
正确性 | 低倍(大视野): ±5 μm | |||
图像拼接功能 | VR-6200: 全自动测量(XY 自动控制+Z 自动控制、θ 自动控制)、自动创建MAP 图像、自动设定区域 *2 | |||
图像拼接功能 | 电动旋转单元 | VR-6200: 支持 *2 | ||
XY 可测量范围 | VR-6200: 300 × 150 mm *2 | |||
载物台 | XY 行程 | VR-6200: 278 × 134 mm(电动) | ||
Z 行程 | 69 mm(电动) | |||
承受负重 | 4.5 kg | |||
动作距离 | 75 mm | |||
拍摄元件 | 1 英寸400 万像素单色CMOS | |||
投光镜头 | 双远心镜头×2 | |||
受光镜头 | 双远心镜头 | |||
照明系统 | 观察用光源 | LED 环形照明(红、蓝、绿) | ||
测量用光源 | 白色LED | |||
数据处理部 | 基恩士指定专用电脑(操作系统为Windows 10 Pro) | |||
电源 | 电源电压 | AC100 ~ 240 V ±10% 50/60 Hz | ||
消耗功率 | 200 VA 以下 | |||
环境抗耐性 | 环境温度 | + 15 ~ 30℃ | ||
相对湿度 | 20 至80%RH(无凝结) | |||
重量 | 约4 kg | |||
*1 使用基恩士规定的基准规、以基恩士规定的测量模式进行测量时的数值(环境温度23 ±1℃) |