中平台 IM-X1330

IM-X1330 - 中平台

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规格

型号			IM-X1330
类型			平台单元
使用测量头			IM 测量头、LM 测量头
测量范围（X × Y）	图像测量	广视野模式 [mm]	IM 测量头: 300 × 300、LM 测量头: 225 × 225
		高精度模式 [mm]	IM 测量头: 225 × 225、LM 测量头: 206 × 206
	AF 高度 [mm]		IM 测量头: —、LM 测量头: 200 × 200
	激光高度 [mm]		IM 测量头: 168 × 168、LM 测量头: 196 × 139
	接触探头 [mm]		IM 测量头: 146 × 196、LM 测量头: 150 × 196
Z 平台	移动范围 [mm]		150
测量精度	X、Y 轴（EUX, MPE EUY, MPE）		1.8 ＋ 0.02L µm ^1 ^2
	X、Y 平面（EUXY, MPE）		2.8 ＋ 0.02L µm ^1 ^2
	Z 轴（EUZ、MPE）		3.8 ＋ 0.04L µm^3 ^4
承受负重			15 kg ^*5
额定	电源电压		24 VDC
	消耗电流		7.5 A
环境抗耐性	环境温度		＋ 10 至 35℃ ^*6
重量			32 kg
^1 参考 ISO10360-7，使用环境温度 +23±1℃，平台载重 2 kg 以下时，L 为 XY 平台移动量 (mm) ^2 接触探头测量时参考 ISO10360-2，X、Y 轴 2.8 ＋ 0.02 L µm，XY 平面 3.8 ＋ 0.02L µm ^3 参考 ISO10360-7，接触探头测量时参考 ISO10360-2，使用环境温度 +23±1℃ ，本公司标准工件，测量目标物最大高度设定 62 mm 以下时，L 为 Z 平台移动量 (mm) ^4 测量目标物最大高度超过 62 mm 时为 3.8 ＋ 0.08L µm ^5 XY 平台移动速度 120 mm/s 时为 5 kg ^6 XY 平台移动速度 120 mm/s 时为＋ 15 至 35℃