全自动影像仪
IM-X1000 系列
高倍率 LM 测量头 LM-XC100
规格
型号 | LM-XC100 | |||
类型 | 测量头 | |||
图像测量 | 视野 | 广视野模式 [mm] | 25 × 25 | |
高精度模式 [mm] | 6 × 6 | |||
最小显示单位 | 0.1 µm | |||
重复精度 | 视野内 (2σ) | 广视野模式 | 0.5 µm | |
高精度模式 | 0.1 µm | |||
测量精度 | 广视野模式 | 1.8 µm *1 | ||
高精度模式 | 0.7 µm *2 | |||
激光高度 | 基准距离 | — | ||
重复精度 | ||||
光点直径 | ||||
直线性 | ||||
激光等级 | ||||
接触探头 | 重复精度 | |||
测量力 | ||||
AF 高度 | 重复精度 | ±2 µm | ||
照明系统 | 透过 | 绿色 LED、远心透过照明 | ||
落射 | 彩色 LED、白色 LED 4 分割多角度照明（电动） | |||
绿色 LED、缝隙环状（指向性）侧射照明（电动） | ||||
白色 LED、远心同轴照明 | ||||
环境抗耐性 | 环境温度 | +10 至 35℃ | ||
重量 | 9 kg | |||
*1 在 20 × 20 mm 范围内，于对焦位置，使用环境温度 +23 ±1℃时 | ||||
