高倍率 LM 测量头 LM-XC100TL

LM-XC100TL - 高倍率 LM 测量头

*请注意，图片中的配件可能不包括在产品中。

规格

型号				LM-XC100TL
类型				测量头
图像测量	视野	广视野模式 [mm]		25 × 25
		高精度模式 [mm]		6 × 6
	最小显示单位			0.1 µm
	重复精度	视野内 (2σ)	广视野模式	0.5 µm
			高精度模式	0.1 µm
	测量精度		广视野模式	1.8 µm ^*1
			高精度模式	0.7 µm ^*2
激光高度	基准距离			70 mm
	重复精度			σ ≦ 0.6 µm
	光点直径			ø50 µm
	直线性			±2 µm ^*3
	激光等级			Class 1
接触探头	重复精度			±1 µm
	测量力			0.015 N ^*4
AF 高度	重复精度			±2 µm
照明系统	透过			绿色 LED、远心透过照明
	落射			彩色 LED、白色 LED 4 分割多角度照明（电动）
				绿色 LED、缝隙环状（指向性）侧射照明（电动）
				白色 LED、远心同轴照明
环境抗耐性	环境温度			+10 至 35℃
重量				11 kg
^1 在 20 × 20 mm 范围内，于对焦位置，使用环境温度 +23 ±1℃时 ^2 在 5 × 5 mm 范围内，于对焦位置，使用环境温度 +23 ±1℃时 ^3 本公司基准工件，激光单体性能 ^4 平均值