光学单元 (真空、耐热 20 mm 型) CL-V020N

CL-V020N - 光学单元 (真空、耐热 20 mm 型)

*请注意,图片中的配件可能不包括在产品中。

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手册

CAD 数据

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软件

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

型号

CL-V020N*1

类型

光学单元

探头

CL-V020 *1

基准距离

20 mm

标准设定范围

测量范围

± 1.3 mm

直线性

± 0.45 µm *2

高精度测量范围

测量范围

± 0.5 mm

直线性

± 0.38 µm *2

分辨率

0.25 µm *3

光点直径

ø 20 µm

激光级别

光学单元

Class 1

采样周期

100/200/500/1000 µs(4 段可调)

环境抗耐性

保护结构

探头

IP40 真空用除气结构 *4

环境光照

物体面照度 30000 lux(白炽灯)

使用环境温度

探头

-20 至+200°C

光学单元

0 至+50°C

相对湿度

85% RH 以下(无凝结)

耐振动性

探头

10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

光学单元

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

耐冲击性

15G 6 ms

真空

支持超高真空 *5

温度特性

探头

0.013% of F.S. /℃ *6

光学单元

0.015% of F.S. /℃

材质

探头

SUS304

光学单元

聚碳酸酯

重量

探头

约 100 g

光学单元

约 1600 g

*1 探头和光学单元可进行微调。无互换性。
*2 通过位移模式测量本公司标准工件(镜面体)的值。
*3 按平均次数 16384 次测量本公司标准工件(镜面体)的值。
*4 粘贴附带的贴纸后,相当于IP50。
*5 在10^-6 Pa 环境下经过动作验证。
*6 数据适用于在感测头与工件之间使用 SUS303(或 SUS304)夹具的情况。

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