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干涉式同轴 3D 位移测量仪
WI-5000 系列
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技术规格(PDF)
手册
CAD 数据
360°查看 (3D PDF)
产品尺寸
软件
型号
WI-S1
XY 载物台移动量
X 轴:75 mm,Y 轴:50 mm
XY 载物台倾斜角度
±2 度
Z 轴载物台移动量
粗调节轮:64 mm,微调节轮:2.0 mm
外形尺寸(可动部位除外)
宽度 231 × 高度 408 × 深度 360 mm
重量
约 10 kg
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