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分光干涉式晶片厚度计

SI-F80R 系列

几乎不受晶片图案的影响

通过减小光点直径和光点内的表面相差,可有效减少晶片表面图案的变化和测量警报的发生次数。

图案化硅晶片厚度分布数据

几乎不受晶片图案的影响

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