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形状测量激光显微系统VK-X 系列

电动X-Y台

VK-S110

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型号

VK-S110

移动方向

X/Y轴

冲程

100×100 mm

工作台尺寸

140×140 mm

指南方法

交叉滚轮导轨

进给方法

精密滚珠丝杠、引线1 mm

轴转换惯性

X轴 9.29×10-7kg・m2、 Y轴 9.62×10-7kg・m2

马达

0.35A/相、5相步进马达5线五边形接线、保持扭矩:0.017N・m、旋转惯性:4.2g・cm2

分辨率

1 µm

定位精度

10 µm

重复定位精度

±1 µm

反弹

1 µm

空转

3 µm

直观性 (垂直/水平)

15 µm

平行性A

X:20 µm、Y:20 µm

XY直角度

15 µm

耐加重

3 kg

主材料/概观

铝合金、黑色阳极处理

重量

3.7 kg

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