形状测量激光显微系统

VK-X 系列

本型号已停产。

推荐替代产品: 控制器 - VK-X3000

控制器 VK-X1000

VK-X1000 - 控制器

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

型号

VK-X1000

类型

控制器

综合倍率

28,800 倍以下*1

视野 (最小视野范围)

11 µm 至 7,398 µm

帧率 (激光测量速度)

4 至 125 Hz、7,900 Hz*2

测量原理

光学系统

针孔共聚焦光学系统、变焦

光接收元件

16 bit 感应光电倍增器、超高精细彩色CMOS

扫描方式
(常规测量时及图像拼接时)

自动上下限设定功能、高速光量最佳化功能 (AAGII)、反射光量不足补充功能 (双扫描)

高度测量

显示分辨率

0.5 nm (VK-X1100)、5 nm (VK-X1050)

线性标尺

动态量程
(来自工件的光接收量的适用幅度)

16 bit

重复精度σ

激光共聚焦

20 倍 : 40 nm、50 倍 : 12 nm (VK-X1100)
20 倍 : 40 nm、50 倍 : 20 nm (VK-X1050)

变焦

5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 20 nm (VK-X1100)
5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 30 nm (VK-X1050)

高度数据获取范围

70 万步骤

准确性

0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度 µm)*3

宽度测量

显示分辨率

1 nm (VK-X1100)、10 nm (VK-X1050)

重复精度 3σ

激光共聚焦

20 倍 : 100 nm、50 倍 : 40 nm (VK-X1100)
20 倍 : 100 nm、50 倍 : 50 nm (VK-X1050)

变焦

5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 50 nm (VK-X1100)
5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 65 nm (VK-X1050)

准确性

测量值±2 % 以内*3

XY 载物台结构

手动 运行范围

70 mm x 70 mm

电动 运行范围

100 mm x 100 mm

观察

观察图像

超高精细彩色CMOS 图像、16 bit 激光彩色共焦点图像、共焦点 + ND 滤波器光学系统、C - 激光微分干涉图像

照明

环状照明、同轴落射照明

测量用激光光源

波长

紫色半导体激光 404 nm (VK-X1100)
红色半导体激光 661 nm (VK-X1050)

最大输出

1 mW

激光产品

2 类激光产品 (GB7247.1)

电源

电源电压

100 至 240 VAC、50/60 Hz

消耗电流

150 VA

重量

约 3.0 kg

*1 23 寸显示器画面上的倍率 (全屏显示器时)。
*2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。
*3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (标准刻度) 时。

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