测量头 VK-X4100

型号

VK-X4100

类型

测量头

综合倍率

42 至28800 倍 ^*1

视野范围

11 至7398 μm

测量原理

激光共聚焦、聚焦变化、白光干涉、分光干涉

激光光源波长

半导体激光404 nm

最高激光测量速度

面：125 Hz、线：7900 Hz ^*2

激光最大输出

1.0 mW

激光等级

2 类激光产品（GB7247.1）

激光受光元件

16 bit 感应光电倍增器

白色光源

白色LED

白色光受光元件

超高精细彩色CMOS

激光共聚焦

高度显示分辨率

0.1 nm

高度重复精度 σ

10 倍：100 nm、20 倍：40 nm、50 倍：12 nm

高度准确性

0.2+L/100 μm 以下 ^*3

宽度显示分辨率

0.1 nm

宽度重复精度 3σ

10 倍：200 nm、20 倍：100 nm、50 倍：40 nm

宽度准确性

测量值±2% 以内 ^*3

聚焦变化

高度显示分辨率

0.1 nm

高度重复精度 σ

5 倍：500 nm、10 倍：100 nm、20 倍：50 nm、50 倍：20 nm

高度准确性

0.2+L/100 μm 以下 ^*3

宽度显示分辨率

0.1 nm

宽度重复精度 3σ

5 倍：400 nm、10 倍：400 nm、20 倍：120 nm、50 倍：50 nm

宽度准确性

测量值±2% 以内 ^*3

白光干涉

高度显示分辨率

0.01 nm

宽度显示分辨率

0.1 nm

Surface Topography Repeatability

0.08 nm ^*4

Repeatability of RMS

0.008 nm ^*4

分光干涉膜厚测量

重复精度 σ

0.1 nm ^*4

准确性

±0.6% ^*4

光学观察

像素数

560 万

转换器

6 孔电动镜头转换器

适用于环形照明的镜头

2.5 倍、5 倍、10 倍

光学变焦

1 至8 倍

电源

电源电压

100 至240 VAC、50/60 Hz

消耗功率

150 VA

环境抗耐性

环境温度

+15 至28°C

相对湿度

20 至80% RH（无凝结）

重量

约13 kg