数字压力传感器

吸附确认

[特点1] 只检测吸附时的变位量的零转移

[特点2] 能够实现稳定检测的吸附确认专用模式

[F-1 模式] [A-1 模式]
推荐型式
(一体型) AP-C30/C31

原压力的监视

[特点1] 能够仅对在限定范围内产生的异常压力输出错误警报的功能

[特点2] 防止抖动功能

[F-3 模式]
推荐型式
(一体型) AP-C33

泄漏测试

[特点1] 引用一台即可以检测出充填压和泄漏压

[A-2 模式]
推荐型式
(一体型) AP-C30/C33

就位确认

[特点1] 利用零转移可以忽略原压力的变动

[F-1 模式]
推荐型式
(一体型) AP-C30/C33