厚度测量（反射）

SI系列能够以小光点进行高速测量，不仅能测量由纵向拉伸后脉动和滚轮动作导致的周期性厚度不均，还能对横向拉伸后的边缘厚度进行在线实时测量。最多可同时加装6个探头。

分光干涉位移型多层膜厚测量仪

SI-T 系列

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