薄膜的偏差测量

生产工序中的薄膜偏差可能会导致产品变形，进而引发不良等问题。使用 CL 系列可以对偏差量进行非接触式的实时监视。小型传感器探头也能安装在装置内的有限空间中。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

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