金属线锯滚筒热膨胀测量

SI-F 系列配备了 ø2 mm 的超小型传感头。还能轻松加装到原有的设备上。利用分辨率 0.25 µm 的超高精度测量,可准确测量亚微米级的变化。

微型传感头型分光干涉式 激光位移计

SI-F 系列

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